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1 3 DECONTAMINATION OF A PROCESS PIPE-LINE Domaine technique de l’étude La présente étude concerne un procédé de nettoyage d’une ligne de vide. La présente étude concerne également une ligne de vide. Arrière-plan technique Des procédés récents et de plus en plus utilisés, notamment pour la fabrication de cellules photovoltaïques dans l’industrie du solaire, comportent une étape de dépôt d’oxyde d’aluminium sous vide, soit par voie PECVD (dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma ou Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition en anglais), soit par voie ALD (procédé de dépôt de couches minces atomiques ou atomic layer deposition en anglais). Le précurseur utilisé pour cette étape est le TMA (triméthylaluminium), pyrophorique et instable thermiquement. Par conséquent, le TMA inutilisé, en excès ou n’ayant pas réagi dans la chambre de procédés, est entrainé dans la ligne de vide où il peut réagir. Un dépôt dur et adhérent peut alors se former sur les surfaces internes des pompes à vide, et compte tenu des quantités utilisées, les jeux internes des pompes à vide peuvent vite être rattrapés. La durée de vie des pompes à vide est donc fortement impactée et n’est généralement plus que de l’ordre de quelques mois, ce qui limite leur durée d’utilisation sans interventions de maintenance. Il est possible de rendre les pompes à vide plus robustes en surdimensionnant les moteurs pour « arracher » le dépôt. Cependant, les résultats ne sont pas parfaitement satisfaisants car les durées de vie obtenues restent trop faibles et car cette solution n’est pas économique. Une autre solution consiste à disposer un piège réactif en amont des pompes à vide. Le piège force la réaction du TMA en amont pour éviter que celui-ci ne réagisse et se dépose dans les pompes à vide. Pour cela, on injecte de l’eau en amont des pompes à vide et on filtre les particules générées. Compte tenu de la réactivité du TMA avec l’eau, la réaction fonctionne très bien. Le TMA est alors transformé en poussière d’oxyde d’aluminium qui s’accumule dans le filtre du piège et qui est évacué par la suite au cours de maintenances. Les durées de vie des pompes à vide deviennent alors acceptables, mais d’autres contraintes apparaissent. En effet, ce procédé génère beaucoup de poussière fine, ce qui demande des moyens importants de maintenance pour nettoyage et donc d’arrêts de production, ce qui est couteux. Par ailleurs, toutes les poudres ne sont pas piégées. Certaines atteignent les pompes à vide, et peuvent se déposer dans les jeux de fonctionnement, polluer les lubrifiants ou endommager les roulements du fait de leur nature abrasive. Ces poudres sont de plus, difficilement assimilables par les dispositifs de traitement de gaz raccordés en sortie des pompes à vide. Un autre problème est que ...